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X射线光电子能谱仪 (X-ray Photoelectron Spectroscopy 简称XPS) ,又被称为化学分析电子能谱仪 (ESCA) ,是一种常规的表面成分分析技术,除了可以表征材料的成分组成,还可以表征各成分的化学状态,并可定量表征每种成分的相对含量;因而XPS广泛地应用于材料研究的各个领域,对于各种材料开发,材料剖析与失效机理的分析和研究具有不可替代的作用。
1. XPS技术原理简介
2. XPS技术特点以及与其它表面分析技术的能力对比(EDS/ TOF-SIMS/ AES 等)
3. XPS在材料表征中的应用案例分享
• 金属合金材料
• 半导体材料和产品(无机和有机半导体)
• 氧化物包括陶瓷、能源电池材料等
• 高聚物成分分析和膜层剖析
4. XPS图谱解析方法